[实用新型]冷泵再生辅助加热装置有效

专利信息
申请号: 201621492077.6 申请日: 2016-12-30
公开(公告)号: CN206495775U 公开(公告)日: 2017-09-15
发明(设计)人: 张鼎;李晓明 申请(专利权)人: 江苏晶瑞半导体有限公司
主分类号: F04B53/08 分类号: F04B53/08
代理公司: 常州知融专利代理事务所(普通合伙)32302 代理人: 路接洲
地址: 213314 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种冷泵再生辅助加热装置,包括冷泵腔及与冷冻机单元连接的冷头腔,所述冷泵腔外壁上设置有加热器,所述冷泵腔沿内壁设有一屏蔽筒,所述屏蔽筒内壁上设置有沿其轴向分布的冷屏,冷泵腔的中部设置有冷伞,所述冷伞的直径小于所述冷屏的直径,冷伞连接二级冷头,所述二级冷头连接伸出冷泵腔的一级冷头,所述一级冷头的直径大于二级冷头的直径,一级冷头位于冷头腔内,所述冷头腔的外壁上贴装有贴片式带温度传感器硅胶加热器。本实用新型的加热装置可以快速的使冷泵内部水汽蒸发排出,节约40%冷泵再生时间,加热使冷泵冷头腔内干燥杂质气体排出更彻底,腔内环境更洁净,从而节约50%冷泵启动时间,提高冷泵利用率。
搜索关键词: 再生 辅助 加热 装置
【主权项】:
一种冷泵再生辅助加热装置,包括冷泵腔(1)及与冷冻机单元连接的冷头腔(2),所述冷泵腔(1)外壁上设置有加热器(10),其特征在于:所述冷泵腔(1)沿内壁设有一屏蔽筒(3),所述屏蔽筒(3)内壁上设置有沿其轴向分布的冷屏(4),冷泵腔(1)的中部设置有冷伞(5),所述冷伞(5)的直径小于所述冷屏(4)的直径,冷伞(5)连接二级冷头(6),所述二级冷头(6)连接伸出冷泵腔(1)的一级冷头(7),所述一级冷头(7)的直径大于二级冷头(6)的直径,一级冷头(7)位于冷头腔(2)内,所述冷头腔(2)的外壁上贴装有贴片式带温度传感器硅胶加热器(8)。
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