[实用新型]一种光阻缓冲罐有效
| 申请号： | 201621364986.1 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN206378684U | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 吴斌 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光阻缓冲罐，包括一罐体；一移动探测装置，所述移动探测装置固定设置于所述罐体的内部；所述移动探测装置包括一滑动支架；一上限探测器，所述上限探测器滑动设置于所述滑动支架上。本实用新型的有益效果根据需要灵活调整上限探测器的位置，光阻缓冲罐内的光阻从充满状态时的标准高度处回落到上限探测器所处的高度时存在一时间差，利用该时间差操作人员可向光阻瓶中添加更换光阻以保证光阻瓶能持续不间断的向光阻缓冲罐内输送光阻，保证在光阻的管路供应系统中持续不间断供应光阻，且向光阻瓶中更换光阻时不需要暂停光阻的管路供应系统，提高生产线的稳定性，提高最终产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缓冲 | ||
【主权项】：
一种光阻缓冲罐，其特征在于，所述光阻缓冲罐包括：一罐体；一移动探测装置，所述移动探测装置固定设置于所述罐体的内部；所述移动探测装置包括：一滑动支架；一上限探测器，所述上限探测器滑动设置于所述滑动支架上。
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