[实用新型]提高抽速的真空高阀有效
| 申请号： | 201621176147.7 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN206175760U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请（专利权）人： | 江阴市光科真空机械有限公司 |
| 主分类号： | F16K27/00 | 分类号： | F16K27/00;F16K51/00;C23C14/56;C23C16/00 |
| 代理公司： | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人： | 王明亮 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高抽速的真空高阀，包括阀体、气缸和阀罩盖，阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述预抽真空阀连接口连通；所述阀体上设置所述气缸；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述预抽真空阀连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述预抽真空阀连接口；所述真空高阀还包括至少一个预抽真空阀，预抽真空阀通过阀体上的预抽真空阀连接口与阀体相连通。本实用新型通过预抽真空阀的设置，等于给抽真空过程一个梯度，预抽真空阀的设置起到协助推动抽真空过程的作用，使得抽真空更迅速，达到同样的真空度时能耗较以前的技术方案低。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 真空 | ||
【主权项】：
提高抽速的真空高阀，其特征在于，包括阀体、气缸和阀罩盖，所述阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述预抽真空阀连接口连通；所述阀体上设置所述气缸，气缸与所述阀体连接处密封连接；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述预抽真空阀连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述预抽真空阀连接口；所述真空高阀还包括至少一个预抽真空阀，预抽真空阀通过阀体上的预抽真空阀连接口与阀体相连通。
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