[实用新型]铝基板生产中的曝光仪有效

专利信息
申请号: 201620787519.3 申请日: 2016-07-26
公开(公告)号: CN205809536U 公开(公告)日: 2016-12-14
发明(设计)人: 彭树荣;刘地发 申请(专利权)人: 刘地发
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 东莞市中正知识产权事务所44231 代理人: 侯来旺
地址: 广东省珠海市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开铝基板生产中的曝光仪,包括机体、设于机体上并可承放铜层朝下的铝基板的曝光盘、设于铝基板下端的菲林、设于曝光盘下方并可朝向菲林及铜层方向进行照射从而进行曝光工序的光源装置,铝基板上设有螺孔,菲林与铝基板之间通过与螺孔对应适配并可穿过螺孔的曝光对位钉来进行对位,曝光仪还包括可自动在菲林上套上曝光对位钉的自动套钉装置。
搜索关键词: 铝基板 生产 中的 曝光
【主权项】:
铝基板生产中的曝光仪,其特征在于,包括机体、设于所述机体上并可承放铜层朝下的铝基板的曝光盘、设于所述铝基板下端的菲林、设于所述曝光盘下方并可朝向所述菲林及所述铜层方向进行照射从而进行曝光工序的光源装置,所述铝基板上设有螺孔,所述菲林与所述铝基板之间通过与所述螺孔对应适配并可穿过所述螺孔的曝光对位钉来进行对位,所述曝光仪还包括可自动在所述菲林上套上所述曝光对位钉的自动套钉装置。
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