[实用新型]一种MEMS光纤压力传感器有效
| 申请号： | 201620777428.1 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN205861261U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS光纤压力传感器，包括光纤、压力敏感元件和基座，所述基座的上表面设置有光纤槽，所述光纤安装在所述光纤槽内，所述压力敏感元件和基座的尺寸相同，所述压力敏感元件的下表面和基座的上表面通过阳极键合相互连接，所述光纤的一端与所述压力敏感元件之间相对间隔一定的距离从而形成法布里‑珀罗腔；本实用新型具有体积小，能批量生产，制作方法简单，机械性能强，温度系数低，灵敏度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 光纤 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS光纤压力传感器，其特征在于：包括光纤、压力敏感元件和基座，所述基座的上表面设置有光纤槽，所述光纤安装在所述光纤槽内，所述压力敏感元件和基座的尺寸相同，所述压力敏感元件的下表面和基座的上表面通过阳极键合相互连接，所述光纤的一端与所述压力敏感元件之间相对间隔一定的距离从而形成法布里‑珀罗腔。
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