[实用新型]一种硅片真空堆垛机有效

专利信息
申请号: 201620773970.X 申请日: 2016-07-21
公开(公告)号: CN205838040U 公开(公告)日: 2016-12-28
发明(设计)人: 王燃;纪加飞 申请(专利权)人: 上海龙鉴自动化科技有限公司
主分类号: B65G61/00 分类号: B65G61/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201901 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种硅片真空堆垛机,包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵,所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上,所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上,所述液压缸和所述真空泵设于所述移动定位车上,所述提取夹钩和所述提取吸盘设于所述悬架上,所述提取夹钩连接所述液压缸,所述真空泵连接所述提取吸盘,所述支架上设有若干接近开关。与已有技术相比,本实用新型的有益效果在于:吸盘损耗小,效率高,支持自动运行,堆放整齐,出错率低。
搜索关键词: 一种 硅片 真空 堆垛
【主权项】:
一种硅片真空堆垛机,其特征在于,包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵,所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上,所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上,所述液压缸和所述真空泵设于所述移动定位车上,所述提取夹钩和所述提取吸盘设于所述悬架上,所述提取夹钩连接所述液压缸,所述真空泵连接所述提取吸盘,所述支架上设有若干接近开关。
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