[实用新型]用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置有效
| 申请号： | 201620554515.0 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN205748322U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李俊;郝天阳;王庆朋;张继德;商怀昊;孙振 | 申请（专利权）人： | 科德数控股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 孟兆华;李洪福 |
| 地址： | 116600 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置，包括：设置于水平工作面上的载物台、能够往复运动的自动滑台、用于计算得出触发式测头重复精度的信号处理模块、用于分别测量自动滑台运动位置坐标的触发式测头和激光干涉仪线性测量组件；所述的触发式测头和激光干涉仪线性测量组件用于分别将测得的位置坐标值记录，并传输给测头信号处理模块。本实用新型所述的用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置，有效的避免了在机测量中预行程误差及测量余弦误差，以便对高精度触发式测头精度的分析和误差补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 干涉仪 检测 高精度 触发 式测头 重复 精度 装置 | ||
【主权项】：
一种用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置，其特征在于包括：设置于水平工作面上的载物台(1)、能够往复运动的自动滑台(2)、用于计算得出触发式测头(3)重复精度的信号处理模块(6)、用于分别测量自动滑台(2)运动位置坐标的触发式测头(3)和激光干涉仪线性测量组件(5)；所述的触发式测头(3)和激光干涉仪线性测量组件(5)用于分别将测得的位置坐标值记录，并传输给测头信号处理模块(6)。
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