[实用新型]用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置有效
申请号: | 201620554515.0 | 申请日: | 2016-06-08 |
公开(公告)号: | CN205748322U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 李俊;郝天阳;王庆朋;张继德;商怀昊;孙振 | 申请(专利权)人: | 科德数控股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 孟兆华;李洪福 |
地址: | 116600 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 干涉仪 检测 高精度 触发 式测头 重复 精度 装置 | ||
【权利要求书】:
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