[实用新型]一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器

摘要

本实用新型提出一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器包括进气口、反应腔、出气口以及底部支架，所述进气口与硅片喷淋组件下方的抽风装置的出气口连接，所述出气口与抽风机连接，所述进气口与反应腔、反应腔与出气口之间采用法兰连接，所述反应腔的上部与进气口之间设有滤网，所述反应腔的下部与出气口之间也设有滤网。本实用新型的破除器采用法兰连接，便于拆卸维护；通过滤网设置避免杂质进入反应腔以及避免反应腔内的金属氧化物漏出，提高臭氧分解的效率和破除器的使用寿命。

主权项

一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器，其特征在于，所述破除器包括进气口、反应腔、出气口以及底部支架，所述进气口与硅片喷淋组件下方的抽风装置的出气口连接，所述出气口与抽风机连接，所述进气口与反应腔、反应腔与出气口之间采用法兰连接，所述反应腔的上部与进气口之间设有滤网，所述反应腔的下部与出气口之间也设有滤网。