[实用新型]一种原子层沉积ALD热态源的储存装置

摘要

本实用新型涉及一种原子层沉积(ALD)热态源的储存装置，包括瓶体，所述瓶体顶部由瓶盖密封，所述瓶盖与所述瓶体之间采用密封螺丝固定连接，所述瓶盖上设有波纹阀一和波纹阀二，所述波纹阀一连通载气，所述波纹阀二为源蒸汽出口，所述瓶体内侧顶部两侧为弧形顶面，所述瓶体内侧底部为U型底面。本实用新型提供的一种原子层沉积(ALD)热态源的储存装置，实现了ALD源与水、氧的绝对隔绝，保证了ALD源储存的安全性；提高了ALD热态源在工艺过程中较高的利用率，降低ALD工艺过程成本；保证ALD热态源蒸汽压足够、稳定时，有效降低热态源的热分解，可以直接应用于ALD工艺的工业化应用。

主权项

一种原子层沉积ALD热态源的储存装置，包括瓶体(7)，其特征在于：所述瓶体(7)顶部由瓶盖(3)密封，所述瓶盖(3)与所述瓶体(7)之间采用密封螺丝(4)固定连接，所述瓶盖(3)上设有波纹阀一(1)和波纹阀二(2)，所述波纹阀一(1)连通载气，所述波纹阀二(2)为源蒸汽出口，所述瓶体(7)内侧顶部两侧为弧形顶面(6)，所述瓶体(7)内侧底部为U型底面(5)。