[实用新型]一种分段加热式外延炉有效
| 申请号： | 201620406259.0 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN205635851U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 钱卫宁;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B25/08;C30B29/36 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市翔安区翔星*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种分段加热式外延炉，该外延炉的反应室内设置有大盘，大盘中心上方设置有用于向反应室内输入源气的注入器，大盘上围绕中心设置若干用于放置晶片的小盘基座，大盘底部设置有用于给大盘加热的加热线圈。加热线圈呈平面螺旋型绕设于大盘底部且具有至少一断开点，以形成至少两个分段，各分段独立工作分别控制加热程度，其中中心区域的加热程度较高以补偿常温源气进入的温差，从而使大盘径向温度均一，避免了径向的温度梯度，节约了源气，提高了外延工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分段 加热 外延 | ||
【主权项】：
一种分段加热式外延炉，该外延炉的反应室内设置有大盘，大盘中心上方设置有用于向反应室内输入源气的注入器，大盘上围绕中心设置若干用于放置晶片的小盘基座，大盘底部设置有用于给大盘加热的加热线圈，其特征在于：所述加热线圈呈平面螺旋型绕设于大盘底部且沿大盘径向包括至少两个分段，各分段独立工作以使大盘径向温度均一。
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