[实用新型]一种具有稳定波长的锁模半导体激光器

摘要

一种具有稳定波长的锁模半导体激光器，涉及半导体光电子学技术领域。这种具有稳定波长的锁模半导体激光器结构，包括在半导体激光器芯片基础上的饱和吸收区和其一侧的全反膜，增益区和其另一侧出光处的具有稳定波长输出的光栅，进行波长选择。解决了锁模半导体激光器在光输出时波长不稳定，容易发生漂移的问题。该实用新型在多次进行波长选择的过程中，实现输出波长的稳定，而且工艺容易实现，操作简单，成为小型化、效率高、可携带和节能环保的新型光源。

主权项

一种具有稳定波长的锁模半导体激光器结构，其特征在于：主要包括半导体激光器芯片(1)、饱和吸收区(2)与其一侧的全反膜、中间的电隔离槽(5)、增益区(3)和出光处的若干对光栅(4)及增透膜；在半导体激光器芯片(1)的P面上，从端面A开始依次为饱和吸收区(2)、中间的电隔离槽(5)、增益区(3)和出光处的若干对光栅(4)；在饱和吸收区(2)对应的端面A处具有全反膜；增益区(3)出光方向垂直光栅(4)。