[实用新型]一种气体辉光放电装置有效
| 申请号： | 201620314619.4 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN205508768U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 谢章义;霍玉凯;刘海辉;高小香 | 申请（专利权）人： | 北京滨松光子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区南*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气体辉光放电装置，包括固定卡具、定位块、定位片、磁铁、螺钉组成；固定卡具与材料处理设备相匹配，固定卡具与定位片由螺钉穿过定位块进行固定，以使定位片与固定卡具有一定的距离且固定了定位片；磁铁可以在定位片上灵活移动，磁铁磁场线可以作用在指定位置的附近区域，使得指定位置附近区域气体原子离化效率提高，能够对辉光放电过程中辉光的位置和辉光的形状以及辉光的强度进行精确控制，缩短了辉光放电时间，本实用新型的技术效果能够克服现有技术的不足，解决在指定区域实施辉光放电过程不易形成辉光、辉光不稳定的问题；辉光所需要的气体压强和电压得到很大的改善；提高零部件表面处理的成功率；提高工作效率和合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 辉光 放电 装置 | ||
【主权项】：
一种气体辉光放电装置，其特征在于，包括固定卡具、定位块、定位片、磁铁、螺钉组成；固定卡具与材料处理设备相匹配，固定卡具与定位片由螺钉穿过定位块进行固定，以使定位片与固定卡具有一定的距离且固定了定位片；磁铁可以在定位片上灵活移动，磁铁磁场线可以作用在指定位置的附近区域，使得指定位置附近区域气体原子离化效率提高，能够对辉光放电过程中辉光的位置和辉光的形状以及辉光的强度进行精确控制，缩短了辉光放电时间。
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