[实用新型]纤维镀膜设备有效
申请号: | 201620275852.6 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN205473960U | 公开(公告)日: | 2016-08-17 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 三河市浩运盛跃碳纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 065201 河北省廊坊*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供一种纤维镀膜设备,所述纤维镀铜设备包括镀膜腔室、电子束枪、至少一个蒸发坩埚、放丝辊和收丝辊,所述电子束枪、所述蒸发坩埚、所述放丝辊和所述收丝辊均设置在所述镀膜腔室内。本实用新型还提供一种对碳纳米管纤维进行镀膜的方。利用本实用新型所提供的纤维镀膜设备可以连续地对碳纳米管纤维进行镀膜,利用所述纤维镀膜设备进行的镀膜方法属于物理气象沉积,镀膜过程中不会产生废气,不会对环境造成污染。 | ||
搜索关键词: | 纤维 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
一种纤维镀膜设备,其特征在于,所述纤维镀铜设备包括镀膜腔室、电子束枪、至少一个蒸发坩埚、放丝辊和收丝辊,所述电子束枪、所述蒸发坩埚、所述放丝辊和所述收丝辊均设置在所述镀膜腔室内。
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