[实用新型]一种金属蒸镀装置

摘要

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种金属蒸镀装置。该金属蒸镀装置包括蒸镀腔体和至少一个坩埚，还包括填料腔体、填料机构、安装于蒸镀腔室内的第一滑轨、安装于填料腔室内的第二滑轨和储料机构；填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；填料机构包括基座和蒸镀材料取放装置，基座可沿第一滑轨的延伸方向和第二滑轨的延伸方向滑动以调节蒸镀材料取放装置的位置，蒸镀材料取放装置用于从储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从储料机构中取得的蒸镀材料填充到坩埚中。该金属蒸镀装置能够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

主权项

一种金属蒸镀装置，包括具有蒸镀腔室的蒸镀腔体和安装于所述蒸镀腔室的至少一个坩埚；其特征在于，还包括：具有填料腔室的填料腔体，所述填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；安装于所述蒸镀腔室内的第一滑轨；安装于所述填料腔室内的第二滑轨和储料机构，所述储料机构用于储存蒸镀材料；填料机构，所述填料机构包括基座和安装于所述基座的蒸镀材料取放装置，所述基座可沿所述第一滑轨的延伸方向和所述第二滑轨的延伸方向滑动以调节所述蒸镀材料取放装置的位置，所述蒸镀材料取放装置用于从所述储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从所述储料机构中取得的所述蒸镀材料填充到所述坩埚中。