[实用新型]制备结构可控功能薄膜的装置

摘要

本实用新型属于薄膜制备领域，具体为一种制备结构可控功能薄膜的装置。该装置为真空装置，由包括一个溅射靶材、一个工件台、一个传动机构和一个转动机构在内的真空腔体组成，传动机构为驱动电机、驱动轴和齿轮传动装置构成，转动机构为分度盘、磁力转动装置、工件台支撑装置构成；溅射靶材、工件台、齿轮传动装置和工件台支撑装置置于真空腔体内，驱动电机、驱动轴、分度盘、磁力转动装置置于真空腔体外。驱动电机上的皮带与驱动轴相连，驱动轴延伸至真空腔体内与齿轮传动装置连接，实现工件台自转。转动分度盘呈一定角度，通过磁力转动装置使工件台支撑装置呈一定角度，实现工件台与靶材形成一定角度，进而在工件上沉积结构可控功能薄膜。

主权项

一种制备结构可控功能薄膜的装置，其特征在于，该装置为真空装置，由包括一个溅射靶材、一个工件台、一个传动机构和一个转动机构在内的真空腔体组成，传动机构为驱动电机、驱动轴和齿轮传动装置构成，转动机构为分度盘、磁力转动装置、工件台支撑装置构成；其中，溅射靶材 、工件台、齿轮传动装置和工件台支撑装置置于真空腔体内，驱动电机、驱动轴、分度盘、磁力转动装置置于真空腔体外，具体结构如下：溅射靶材和工件台相对设置、距离可调，驱动电机上的皮带与驱动轴相连，驱动轴延伸至真空腔体内与齿轮传动装置的输入端连接，工件台与齿轮传动装置的输出端连接；磁力转动装置的一侧设置分度盘，磁力转动装置的另一侧通过连接件与工件台支撑装置连接，工件台设置于工件台支撑装置上，通过磁力转动装置使工件台支撑装置偏转，转动分度盘上的刻度显示为工件台偏转角度，使工件台法线与溅射靶材法线之间形成夹角。