[实用新型]制备结构可控功能薄膜的装置有效
| 申请号： | 201620235960.0 | 申请日： | 2016-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN205473952U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王美涵 | 申请（专利权）人： | 沈阳大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50 |
| 代理公司： | 沈阳火炬专利事务所(普通合伙) 21228 | 代理人： | 李福义 |
| 地址： | 110044 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 结构 可控 功能 薄膜 装置 | ||
【说明书】：
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