[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本申请公开了一种MEMS麦克风，包括由线路板和壳体组成的外部封装结构，在外部封装结构内部设置有MEMS芯片和ASIC芯片，线路板上正对MEMS芯片位置设置有声孔，MEMS芯片基底的设置有背板和振膜的一端边缘通过绝缘支撑块固定于线路板上，绝缘支撑块的高度大于振膜与基底的靠近线路板的一端端面之间的距离，基底的边缘和线路板通过绝缘密封胶密封，形成密封前腔。本MEMS麦克风的MEMS芯片通过导电粘接金属倒立设置在线路板上，不需要搭线，减小了麦克风的体积，且通过绝缘密封胶将基底的边缘与线路板密封，形成前腔密封，提高了信噪比，且麦克风的背腔将基底的通孔与壳体的空腔连通，增大了背腔空间，同样提高了信噪比。

主权项

一种MEMS麦克风，包括由线路板(1)和壳体(6)组成的外部封装结构，所述外部封装结构内部设置有MEMS芯片(2)和ASIC芯片(7)，所述线路板(1)正对所述MEMS芯片(2)位置设置有声孔(102)，所述MEMS芯片(2)包括基底(201)、背板(202)和振膜(203)，所述背板(202)和所述振膜(203)覆盖固定于所述基底(201)的一端；其特征在于，所述基底(201)设置有所述背板(202)和所述振膜(203)的一端边缘通过绝缘支撑块(3)固定于所述线路板(1)上，所述绝缘支撑块(3)的高度大于所述振膜(203)与所述基底(201)的靠近所述线路板(1)的一端端面之间的距离，所述基底(201)的边缘和所述线路板(1)通过绝缘密封胶(4)密封，形成密封前腔，且所述MEMS芯片(2)通过导电粘接金属(5)与所述线路板(1)的焊盘(101)导电连接。