[实用新型]一种新型声表面波器件有效
| 申请号： | 201620070283.1 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN205490448U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中科鼎源（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/42 | 分类号： | H03H9/42;H03H9/64 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100101 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型声表面波器件。该新型声表面波器件包括：柔性衬底；置于柔性衬底上的第一压电薄层，置于第一压电薄层之上的第二压电薄层；置于第二压电薄层上的电极。该声表面波器件采用常规的声表面波器件结构，电极采用碳纳米管或导电碳浆加工而成，电极加工方法采用纳米压印方式，可实现该类器件大规模批量化生产的目的。本实用新型提出的新型声表面波器件具有可大规模制造，成本低廉，用途广泛的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 表面波 器件 | ||
【主权项】：
一种新型声表面波器件，其特征在于，包括：柔性衬底、第一压电薄层、第二压电薄层及置于第二压电薄层上的电极，电极的加工方式采用纳米压印方式实现，电极的材料选用导电碳浆或碳纳米管。
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