[发明专利]具有可倾斜结构的微机电器件和可倾斜结构的位置检测

摘要

本申请涉及具有可倾斜结构的微机电器件和可倾斜结构的位置检测。公开了微机电器件(50)，其中，平台(52)形成在顶部衬底中并且被配置为通过旋转角度(θ)旋转。平台具有狭缝(70)并且面对腔(53)。集成的多个光电检测器(70)形成在底部衬底中以检测通过狭缝的光，并生成与通过狭缝的光相关的信号。狭缝的面积随着平台的旋转角度而改变并引起衍射，其或多或少根据角度而被标记。相对于狭缝布置在不同位置的两个光电检测器的信号之间的差值产生该角度。

主权项

1.一种微机电器件(50；150)，包括：平台(52)，被配置为通过旋转角度(θ)来转动；狭缝(70)，在所述平台中；腔(53)，面对所述平台的第一侧(52A)；以及集成的多个光电检测器(71)，面对所述腔(53)和所述平台的第一侧，其中所述狭缝具有矩形形状，所述矩形形状被配置为生成能够由所述集成的多个光电检测器来检测的衍射现象，以用于确定所述平台的旋转角度。