[发明专利]基于垂直测试图形的欧姆接触区方块电阻测试方法

摘要

本发明公开了一种基于垂直测试图形的欧姆接触区方块电阻测试方法。其实现方案是：1.制备一组横向与纵向垂直交叉的欧姆接触测试图形，横向测试图形中包括第一电极、第五电极、第四电极，纵向测试图形中包括第二电极、第五电极、第三电极；2.分别测试横向、纵向测试图形中第一电极与第四电极之间的电阻值，第二电极与第三电极之间的电阻值；3.将纵向测试图形所得的电阻值乘以系数L/W与横向测试图形所得的电阻值做差，将其差值除以系数1‑L/W，得到测试图形中欧姆接触区的方块电阻，其中L和W分别为横、纵向测试图形第五电极的长度。本发明测试图形简单易制作，测试速度快，结果准确可靠，可用于高电子迁移率异质结晶体管的制作。

主权项

1.一种基于垂直测试图形的欧姆接触区方块电阻测试方法，包括如下步骤：(1)制备欧姆接触测试图形：在半导体体材料上先淀积金属电极，再采用高温退火的方法制备出一组相互垂直交叉的横向测试图形和纵向测试图形，每种测试图形包括三个欧姆电极，其中：横向测试图形中的三个欧姆电极分别为：长度为a的第一电极、长度为L的第五电极、长度为a的第四电极，该第一电极与第五电极之间的距离为L₁₅，第五电极与第四电极之间距离为L₅₄，电极宽度均为W；纵向测试图形中的三个欧姆电极分别为：长度为a的第二电极、长度为W的第五电极、长度为a的第三电极，该第二电极与第五电极之间的距离为L₂₅，第五电极与第三电极之间距离为L₅₃，电极宽度均为L，且W≠L，L₂₅＝L₁₅，L₅₄＝L₅₃；(2)方块电阻的测量：(2a)在横向测试图形的第一电极与第四电极之间施加偏置电压，并在回路中串联电流表，读取电流表的值，利用I‑V关系计算得到第一电极与第四电极之间的电阻值R_L1：R_L1＝V₁/I₁；其中R_L1为横向测试图形中第一电极与第四电极之间的电阻值，V₁为横向测试图形中第一电极与第四电极上所加的电压，I₁为横向测试图形中由第一电极、第五电极、第四电极及有源区所构成的回路中的电流值；(2b)在纵向测试图形的第二电极与第三电极之间施加偏置电压，并在回路中串联电流表，读取电流表的值，利用I‑V关系计算得到第二电极与第三电极之间的电阻值R_L2：R_L2＝V₂/I₂；其中R_L2为纵向测试图形中第二电极与第三电极之间的电阻值，V₂为纵向测试图形中第二电极与第三电极上所加的电压，I₂为纵向测试图形中由第二电极、第五电极、第三电极及有源区所构成的回路中的电流值；(2c)根据(2a)和(2b)中所测得的两个电阻值R_L1和R_L2，构建每种测试图形欧姆接触区的方块电阻计算公式：R_shc＝(R_L2L/W‑R_L1)/(1‑L/W)。