[发明专利]一种用于抛光等离子硅聚焦环台阶的装置及方法在审
| 申请号： | 201611216510.8 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN108237469A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 夏青;库黎明;朱秦发;高立飞;田强;王思元;张雷;杨卫国;闫志瑞;李磊 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B39/06 | 分类号： | B24B39/06;B24B1/00;B24B55/00;B24B47/12;B24B57/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于抛光等离子硅聚焦环台阶的装置及方法。该装置包括主体槽、转动装置、紧固装置、送液装置、悬臂和抛光布，其中，紧固装置包括一卡盘，该卡盘上设有螺纹孔，通过螺栓固定待抛光的硅聚焦环；所述紧固装置安装在转动装置上，送液装置用于向待抛光的硅聚焦环上喷淋抛光液；抛光布贴在悬臂的下端，悬臂套在悬臂杆上通过绳子与重锤相连，悬臂可在悬臂杆上沿卡盘径向移动，悬臂杆套在悬臂架上，悬臂杆可在悬臂架上上、下移动。采用该装置抛光等离子硅聚焦环台阶，通过调整卡盘的转速和抛光时间，来达到所需硅环台阶粗糙度。采用本发明可以获得硅环台阶表面粗糙度极低的硅聚焦环，简单易行，效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 聚焦环 悬臂杆 紧固装置 等离子 卡盘 悬臂 送液装置 转动装置 粗糙度 悬臂架 硅环 调整卡盘 径向移动 螺栓固定 台阶表面 螺纹孔 抛光布 抛光液 悬臂套 主体槽 布贴 上喷 套在 下端 重锤 绳子 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光等离子硅聚焦环台阶的装置，其特征在于，该装置包括主体槽、转动装置、紧固装置、送液装置、悬臂和抛光布，其中，紧固装置包括一卡盘，该卡盘上设有螺纹孔，通过螺栓固定待抛光的硅聚焦环；所述紧固装置安装在转动装置上，送液装置用于向待抛光的硅聚焦环上喷淋抛光液；抛光布贴在悬臂的下端，悬臂套在悬臂杆上通过绳子与重锤相连，悬臂可在悬臂杆上沿卡盘径向移动，悬臂杆套在悬臂架上，悬臂杆可在悬臂架上上、下移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研半导体材料有限公司，未经有研半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611216510.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：厚度缩减装置及厚度缩减方法
- 下一篇：一种机械加工用便于更换的打磨装置
