[发明专利]蒸镀设备有效
| 申请号： | 201611193856.0 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106435484B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 付文悦;张鑫狄 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示器制备技术领域，公开了一种蒸镀设备，用以减少遮挡板上的有机材料进入蒸发源和坩埚内现象的发生，提高蒸发源的使用寿命和坩埚内材料的品质。蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，位于蒸镀腔室内的蒸发源，位于蒸发源内的坩埚，位于蒸镀腔室内、且可绕自身轴线旋转的转轴，与转轴固定连接的遮挡板，遮挡板可旋转至蒸发源的上方；还包括：位于遮挡板朝向坩埚的一侧的棘轮机构，棘轮机构中的棘爪与转轴固定连接，棘轮机构中的棘轮盘枢装于转轴；与棘轮机构的棘轮盘固定连接的托盘。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 棘轮机构 遮挡板 转轴 坩埚 蒸镀设备 棘轮盘 蒸镀腔 室内 显示器制备 托盘 使用寿命 有机材料 蒸镀腔室 自身轴线 可旋转 棘爪 枢装 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，位于所述蒸镀腔室内的蒸发源，位于所述蒸发源内的坩埚，位于所述蒸镀腔室内、且可绕自身轴线旋转的转轴，与所述转轴固定连接的遮挡板，所述遮挡板可旋转至所述蒸发源的上方；其特征在于，还包括：位于所述遮挡板朝向所述坩埚的一侧的棘轮机构，所述棘轮机构包括棘轮和棘爪，所述棘轮的轮齿为单向齿，所述棘爪铰接于摇杆上，当摇杆逆时针方向摆动时，驱动所述棘爪插入棘轮的轮齿间以推动所述棘轮同向转动；当摇杆顺时针方向摆动时，所述棘爪在所述棘轮上滑过，所述棘轮停止转动；所述棘轮机构中的棘爪与所述转轴固定连接，所述棘轮机构中的棘轮盘枢装于所述转轴；与所述棘轮机构的棘轮盘固定连接的托盘。
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