[发明专利]温度控制装置以及涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201611191535.7 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN107191388B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/58;F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够通过发出与反应生成物堆积相关的警报而进行适当的维护，并且能够实现转子寿命延长与维护期间延长的温度控制装置。温度控制装置(2)为涡轮分子泵的温度控制装置，所述涡轮分子泵包括：定子，设置于基底；泵转子，相对于定子旋转驱动；加热器(5)，对基底进行加热；基底温度传感器(6)，对基底(3)的温度进行检测；以及转子温度传感器(8)，检测泵转子(4a)的转子温度(Tr)，所述温度控制装置包括：温度控制部(21)，基于转子温度传感器(8)的检测值来控制加热器(5)对基底(3)的加热；以及显示部(23)及输出部(26)，在基底温度传感器(6)的检测温度为规定温度(T2)以下的情况下发出警报。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 控制 装置 以及 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
一种温度控制装置，为涡轮分子泵的温度控制装置，所述涡轮分子泵包括：定子，设置于泵基底部；转子，相对于所述定子旋转驱动；加热部，对所述泵基底部进行加热；基底温度检测部，对所述泵基底部的温度进行检测；以及转子温度检测部，检测相当于所述转子的温度的物理量即温度相当量；所述温度控制装置的特征在于包括：加热控制部，基于所述转子温度检测部的检测值来控制所述加热部对所述泵基底部的加热；以及通知部，在所述基底温度检测部的检测温度为规定阈值以下的情况下发出警报。
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