“F04D19/04”专利分类搜索_专利查询_文献下载_出售_求购_买卖_交易

钻瓜专利网为您找到相关结果560个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]真空泵及磁性轴承-CN202310268318.7在审
发明人：木村裕章 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明的真空泵及磁性轴承的课题在于抑制磁性轴承在底座的加热前后变形。本发明的真空泵包括：转子，具有轴；底座，将轴能够旋转地收纳；推力盘，设于轴的下部；以及磁性轴承，沿轴向支撑轴。磁性轴承包括：第一电磁铁，与推力盘的上表面相向配置；以及第二电磁铁，与推力盘的下表面相向配置。第二电磁铁包括芯及线圈。芯包括设有贯通孔的紧固部分，所述贯通孔供将芯紧固在底座的螺栓贯穿。紧固部分的贯通孔的深度方向的厚度比螺栓的标称直径大。或者，紧固部分的贯通孔的深度方向的中心位置处于比第二电磁铁的上下方向的中心位置更靠上方。
真空泵磁性轴承

[发明专利]真空泵、真空泵的控制装置及远程控制装置-CN202280017568.7在审
发明人：桥本正幸;大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供能够使用户、现场服务的工程师的作业负担减轻的真空泵、真空泵的控制装置及远程控制装置。真空泵(10)具备：涡轮分子泵(100)，将半导体制造装置(X)的内部的气体排出；以及控制装置(200)，进行对于涡轮分子泵(100)的控制。控制装置(200)具备远程信号接收机构，所述远程信号接收机构从对涡轮分子泵(100)进行远程控制的远程控制装置(300)接收指令信号，控制装置(200)基于远程信号接收机构接收到的指令信号，将与涡轮分子泵(100)的运转规格有关的设定变更。
真空泵控制装置远程

[发明专利]真空泵-CN202210091488.8有效
发明人：西村太贵;清水幸一;芦田修 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2016-12-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种可使设置于电机转子中的永久磁铁的寿命提高的真空泵。电机转子(4b)包括固定在轴(10)上的磁轭(40)、以及保持于磁轭(40)上的永久磁铁(41)，在磁轭(40)上形成有：保持部(401)，与轴(10)相离而设置，保持永久磁铁(41)；以及一对嵌合部(400)，设置在保持部(401)的轴向两端，通过嵌合而接合于轴(10)；并且嵌合部(400)的径向厚度尺寸设定为小于保持部(401)的径向厚度尺寸。
真空泵

[发明专利]真空泵及真空排气装置-CN202280015631.3在审
发明人：桦泽刚志 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供一种能够实现清洁性能的提高的真空泵。具备加热器(11)、吹扫气体导入端口(12、13)、吹扫气体阀(14)和排气阀(16)；作为动作模式，具有能够使涡轮分子泵(100)内的堆积物升华的清洁动作模式；在清洁动作模式中，对加热器(11)、吹扫气体阀(14)或排气阀(16)的至少一个进行控制，使涡轮分子泵(100)的内部的至少一部分为涡轮分子泵(100)内的堆积物的升华温度以上并且升压到成为中间流或粘性流的压力区域。
真空泵真空排气装置

[发明专利]真空泵-CN202280014833.6在审
发明人：铃木春树 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明的目的是得到一种抑制析出物的堆积并且良好的容许流量的真空泵。在该真空泵中，设置有转子以及与转子对置配设的具有气体压缩功能的多个定子部，还设置有基准部件(301)，所述基准部件(301)是从底座部(129)朝向进气口(101)侧层叠的部件中的1个，成为该多个定子部的轴向位置的基准。而且，该多个定子部配设在比基准部件(301)靠下游侧(排气口(133)侧)。
真空泵

[发明专利]一种抗冲击分子泵以及防冲击方法-CN202211510424.3有效
发明人：韩超;刘立军;马辉;李赏 -专利权人：苏州中科科仪技术发展有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本申请保护一种抗冲击分子泵及抗冲击方法，属于供气设备技术领域，其技术要点在于：包括波动量监控组件、入口压力适变驱动组件和泵机组，所述波动量监控组件和所述入口压力适变驱动组件均固定安装于所述泵机组的入口端，所述波动量监控组件包括端口真空规和前段真空规；采用本申请的抗冲击分子泵及抗冲击方法，能够有效的保护分子泵。
一种冲击分子以及方法

[实用新型]一种离子泵抽速测量装置-CN202320855266.9有效
发明人：王文明;沈国辉;胡小华 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种离子泵抽速测量装置，该离子泵抽速测量装置包括用以储存氢气的氢源罐；通过连接管与氢源罐连接的提纯器；以及四通连接件；所述四通连接件包括第一端口、第二端口、第三端口以及第四端口；所述第一端口与所述提纯器连接；所述第二端口用以连接标定过的离子泵；所述第三端口用以连接被测离子泵；所述第四端口上连接有真空阀门。该离子泵抽速测量装置能够测定氢原子频标所用离子泵的抽速，从而评估离子泵是否满足氢原子频标的设计要求。
一种离子泵抽速测量装置

[发明专利]真空泵-CN202180075713.2在审
发明人：中辻重义;高井庆行;铃木春树 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：得到能够抑制转子旋转时转子的接触故障引起的对外部配管的影响的真空泵。升温环(301)设置于该真空泵，连接外部配管的排气口(133)连接于升温环(301)，由于转子的旋转时转子的接触故障而被直接或间接地施加旋转力。并且，除了升温环(301)和壳(外筒(127a))的连接部分之外，设置有抑制上述的旋转力导致的升温环301的旋转的旋转抑制机构(孔洞(301a)及螺栓(305)等)。
真空泵

[发明专利]用于涡轮分子泵的转子组件-CN202180091918.X在审
发明人： R·G·霍尔勒;A·库比斯;D·斯图登特 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于涡轮分子泵(100)的转子组件(102)。转子组件(102)包括：转子轴(116)；多个转子动叶(126)，其从转子轴(116)延伸；以及平衡构件(130)，其以过盈配合装配在转子轴(116)内。转子轴(116)沿着纵向轴线(122)延伸，转子组件(102)被构造成绕该纵向轴线旋转。过盈配合使得平衡构件(130)由转子组件(102)保持处于压缩状态。本公开还涉及一种包括转子组件(102)的涡轮分子泵(100)以及一种组装用于该涡轮分子泵的转子组件(102)的方法。
用于涡轮分子转子组件

[发明专利]真空泵-CN202110868761.9有效
发明人：小龟正人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种可减少泵内的生成物堆积的真空泵，可减少在形成从排气功能部至排气管的气体通路的构件的表面的生成物堆积。真空泵包括：加热部，将定子圆筒部加热至抑制生成物堆积的温度；排气口，设置于第二泵壳体，将通过转子及定子排出的气体排出至第二泵壳体的外部；加热器，将排气口加热至抑制生成物堆积的温度；以及气体通路容器，配置于第二泵壳体内，具有从转子圆筒部与定子圆筒部的空隙排出的气体流入的流入口、及使流入的气体向排气口流出的流出孔，且被加热至抑制生成物堆积的温度，其中，排气口的插入部经由间隙插入至气体通路容器的流出孔。
真空泵

[发明专利]涡轮分子泵-CN202011161207.9有效
发明人：二木敬一 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种涡轮分子泵，其可抑制成本增加，并实现大流量、高背压条件下的排气性能的提升。涡轮分子泵(1)包括：多段的转子翼(40)，呈放射状地形成有多个叶片，设置在转子轴方向上；以及多段的定子翼(30)，在转子轴方向上相对于多段的转子翼(40)交替地配置，呈放射状地设置有多个叶片，其中，多段的转子翼(40)及多段的定子翼(30)的至少一段的叶片片数被设定成“质数×2”或“质数×2n”。
涡轮分子

[发明专利]一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法-CN202310853265.5在审
发明人：余耀伟;王超;周德泽;曹斌;潘浩;凡斌;左桂忠;胡建生 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院;安徽大学
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法，包括：真空抽气系统、真空供气系统、真空测量系统、辅助加热系统。真空抽气系统中的主真空室抽气机组由涡轮分子泵与前级泵构成；真空供气系统由小型储气罐与标准储气瓶通过真空管道与主真空室连接，用于实验过程中供气；真空测量系统由各类型规管及残余气体分析仪构成，能够测量出真空室与储气罐气体压力，分析与检测主真空室残余气体成分与状态，实时测量充气速率；辅助加热系统由电源及其控制系统构成，维持吸附剂泵工作所需温度，加热坩埚进行涂层处理及初始阶段进行壁处理。采用本发明，真空抽气机组能够快速抽真空至10‑6Pa量级，用于吸附剂泵抽速性能研究，并研究涂层处理对吸附剂泵性能的影响。
一种用于吸附剂性能测试真空装置方法

[发明专利]真空泵和其旋转体-CN202280008534.1在审
发明人：三轮田透;坂口祐幸 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种能够有效地防止旋转体的应力腐蚀破裂、耐腐蚀性优异的真空泵和其旋转体。在通过旋转体(103)的旋转将气体排出的真空泵(例如涡轮分子泵(100))中，旋转体(103)在其表面具有被第1表面处理层(1A)覆盖的第1区域(1)和被第2表面处理层(2A)覆盖的第2区域(2)；第1区域(1)和第2区域(2)之间的边界部(3)有各自的表面处理层(1A、2A)重叠的区域。
真空泵旋转体

[发明专利]用于具有通气导管的真空泵的供油组件-CN201980070361.4有效
发明人： P·米尔纳;N·J·格兰特;E·卢凯塔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：公开了一种用于真空泵的供油组件。该供油组件包括：供油器，其定位成向真空泵的轴承的一侧供给油；油底壳，其位于轴承的一侧上，并且被构造成接收来自供油器的过量油；以及通气旁路导管，其与油底壳和轴承的另一侧流体联接，通气旁路导管具有位于油底壳的底板上方的升高位置处的入口，并且被构造成将气体从油底壳输送到轴承的另一侧。以这种方式，通气旁路导管提供了替代路径，该路径允许油底壳内的气体在抽真空过程中逸出。该通气旁路导管的入口的位置有助于防止油底壳内的油随着气体行进通过通气旁路导管而逸出。这有助于防止油从供油器损失，并延长轴承的寿命。
用于具有通气导管真空泵供油组件

[发明专利]真空泵、旋转体、罩部及旋转体的制造方法-CN202280008694.6在审
发明人：三轮田透 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：在有关本发明的真空泵(100)中，具备：旋转体(103)，具有旋转轴(113)和旋转叶片(102)，所述旋转叶片(102)具有供该旋转轴(113)的顶部贯通的贯通孔(220)，使顶部将该贯通孔(220)贯通而固定；以及罩部(500)，以将旋转轴(113)的顶部和贯通孔(220)覆盖的方式被固定在旋转体(103)；罩部(500)具备旋转体(103)的平衡修正功能，并且对于排出气体具有耐腐蚀性。通过设置罩部(500)，能够避免轴杆的顶部与腐蚀性气体的接触，能够防止从轴杆的起尘；由于罩部(500)具备旋转体的平衡修正功能，所以能够将旋转体(103)的不平衡修正。
真空泵旋转体制造方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 560 条