[发明专利]用于U波段可重构环形天线的SPIN二极管的制造方法在审
| 申请号： | 201611184384.2 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106816683A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 尹晓雪;张亮 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/36;H01L21/329;H01L29/868;H01Q7/00 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于固态等离子体和微带天线技术领域，具体涉及一种用于U波段可重构环形天线的SPIN二极管的制造方法，所述SPIN二极管用于制备U波段可重构环形天线，所述SPIN二极管的制造方法包括选择SOI衬底(101)；刻蚀所述SOI衬底(101)形成隔离槽，填充所述隔离槽形成隔离区(301)；刻蚀所述SOI衬底(101)形成P区深槽(501)和N区深槽(502)；在所述P区深槽(501)及所述N区深槽(502)内采用离子注入的方式形成P+有源区(601)和N+有源区(602)；在所述SOI衬底(101)上生成引线。用该方法制备的环形天线具有体积小、可重构、易于集成、结构简单、馈电容易、频率可快速跳变的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 波段 可重构 环形 天线 spin 二极管 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于U波段可重构环形天线的SPIN二极管的制造方法，其特征在于，所述SPIN二极管用于制备U波段可重构环形天线，所述环形天线包括：半导体基片(1)；介质板(2)；第一SPIN二极管环(3)、第二SPIN二极管环(4)、第一直流偏置线(5)及第二直流偏置线(6)，均设置于所述半导体基片(1)上；耦合式馈源(7)，设置于所述介质板(2)上；其中，所述可重构环形天线的SPIN二极管的制造方法包括如下步骤：选择SOI衬底(101)；刻蚀所述SOI衬底(101)形成隔离槽，填充所述隔离槽形成隔离区(301)；刻蚀所述SOI衬底(101)形成P区深槽(501)和N区深槽(502)；在所述P区深槽(501)及所述N区深槽(502)内采用离子注入的方式形成P+有源区(601)和N+有源区(602)；在所述SOI衬底(101)上生成引线。
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