[发明专利]旋转银靶材的晶粒辊压细化装置有效
| 申请号： | 201611155034.3 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN106637115B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 崔新礼;黄颖;余华骏;王声容 | 申请（专利权）人： | 东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22F1/14 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张艳美;毛伟碧 |
| 地址： | 523141 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置，包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器、第一辊压轮组和第二辊压轮组。第一辊压轮组安于第一安装架并与第一安装架位于旋转银靶材径向的一侧处，第二辊压轮组安于第二安装架并与第二安装架位于旋转银靶材径向的另一侧处，驱动器安在座架上并与第一安装架及第二安装架中至少一者连接；当驱动器驱使第一安装架和第二安装架相对运动而使第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧旋转银靶材时，则被主轴带动旋转的旋转银靶材被第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化，托板带动第一辊压轮组和第二辊压轮组沿旋转银靶材的轴向辊压细化旋转银靶材的各处，以提高旋转银靶材的均匀性和降低其晶粒大小。 | ||
| 搜索关键词： | 安装架 辊压轮 银靶材 驱动器 辊压 晶粒 细化 带动旋转 细化装置 均匀性 抱紧 托板 轴向 座架 | ||
【主权项】：
1.一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置，适用对旋转银靶材中的晶粒进行辊压细化，所述旋转银靶材安装于机床的主轴上，所述旋转银靶材的晶粒辊压细化装置组装于所述机床的托板上，所述托板沿所述旋转银靶材的轴向呈往复滑移的布置，其特征在于，所述旋转银靶材的晶粒辊压细化装置包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器及相互配合辊压的第一辊压轮组和第二辊压轮组，所述第一辊压轮组安装于所述第一安装架并与该第一安装架位于所述旋转银靶材径向的一侧处，所述第二辊压轮组安装于所述第二安装架并与该第二安装架位于所述旋转银靶材径向的另一侧处，所述驱动器安装在所述座架上，所述驱动器与所述第一安装架及第二安装架中至少一者连接；当所述驱动器驱使所述第一安装架和第二安装架相对运动而使所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧所述旋转银靶材时，则被所述主轴带动旋转的旋转银靶材被所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化，且所述托板带动所述第一辊压轮组和第二辊压轮组沿所述旋转银靶材的轴向辊压细化该旋转银靶材的各处。/n
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