[发明专利]旋转银靶材的晶粒辊压细化装置

说明书

本发明公开了一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置，包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器、第一辊压轮组和第二辊压轮组。第一辊压轮组安于第一安装架并与第一安装架位于旋转银靶材径向的一侧处，第二辊压轮组安于第二安装架并与第二安装架位于旋转银靶材径向的另一侧处，驱动器安在座架上并与第一安装架及第二安装架中至少一者连接；当驱动器驱使第一安装架和第二安装架相对运动而使第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧旋转银靶材时，则被主轴带动旋转的旋转银靶材被第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化，托板带动第一辊压轮组和第二辊压轮组沿旋转银靶材的轴向辊压细化旋转银靶材的各处，以提高旋转银靶材的均匀性和降低其晶粒大小。

技术领域

本发明涉及银靶材的晶粒细化领域，尤其涉及一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置。

背景技术

随着国家节能减排政策的执行力度加大以及人们对低碳环保意识的加强，以低辐射玻璃为代表的节能玻璃在门窗、玻璃幕墙中的应用越来越广泛。

其中，在低辐射玻璃家族中，由于双银低辐射玻璃具有节能性能优异的优点，故使得双银低辐射玻璃得到大量应用，从而为玻璃厂家的发展提供优越的发展平台。

众所周知，在双银低辐射玻璃的制造过程中，会涉及到玻璃的溅射等工艺，所采用的靶材主要有平面银靶材及旋转银靶材。由于平面靶存在溅射效率低，使用周期仅为35天而导致换靶频繁及生产成本高等缺点，而旋转银靶材具有利用率高、使用时间长、溅射过程中产生较少的电弧等优点，故使得旋转银靶材越来越受到人们的关注。

由于磁控溅射镀膜线是生产节能环保玻璃的主要设备，旋转银靶材作为玻璃镀膜的新材料正在投入市场试用，但是，旋转银靶材在使用过程中的均匀性较差，在调试好后的使用过程中，旋转银靶材的均匀性常常发生变化，由于均匀性的变化导致镀膜玻璃的银膜层的厚度变化，从而导致镀膜玻璃颜色产生色差。

因此，有必要提供一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置来克服上述的缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置，提高旋转银靶材的均匀性和降低银靶材的晶粒大小。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置，适用对旋转银靶材中的晶粒进行辊压细化，所述旋转银靶材安装于机床的主轴上，所述旋转银靶材的晶粒辊压细化装置组装于所述机床的托板上，所述托板沿所述旋转银靶材的轴向呈往复滑移的布置。其中，本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器及相互配合辊压的第一辊压轮组和第二辊压轮组。所述第一辊压轮组安装于所述第一安装架并与该第一安装架位于所述旋转银靶材径向的一侧处，所述第二辊压轮组安装于所述第二安装架并与该第二安装架位于所述旋转银靶材径向的另一侧处，所述驱动器安装在所述座架上，所述驱动器与所述第一安装架及第二安装架中至少一者连接；当所述驱动器驱使所述第一安装架和第二安装架相对运动而使所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧所述旋转银靶材时，则被所述主轴带动旋转的旋转银靶材被所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化，且所述托板带动所述第一辊压轮组和第二辊压轮组沿所述旋转银靶材的轴向辊压细化该旋转银靶材的各处。

较佳地，所述座架与所述第二安装架同侧布置，所述驱动器驱使所述第二安装架朝靠近或远离所述第一安装架处移动。

较佳地，所述第一辊压轮组包含沿所述旋转银靶材的径向呈一上一下布置的上辊压轮及下辊压轮，所述旋转银靶材的轴心位于所述第一辊压轮组的上辊压轮及下辊压轮间。

较佳地，所述第二辊压轮组包含沿所述旋转银靶材的径向呈一上一下布置的上辊压轮及下辊压轮，所述旋转银靶材的轴心位于所述第二辊压轮组的上辊压轮及下辊压轮间。

较佳地，所述第一辊压轮组的上辊压轮与所述第二辊压轮组的上辊压轮相正对，所述第一辊压轮组的下辊压轮与所述第二辊压轮组的下辊压轮相正对。