[发明专利]处理液供给方法和处理液供给装置有效
| 申请号： | 201611151930.2 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN106583175B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 吉田勇一;内藤亮一郎;古庄智伸 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C5/02;H01L21/027;B01D19/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种实现了在处理液供给路径上安装有新的过滤器部时为了从过滤器部除去气泡而消耗的处理液的削减和启动时间的缩短的技术。实施如下工序：将处理液充满在新的过滤器部内的工序；接着，为了从上述过滤器部除去气泡而使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的工序；之后，使上述过滤器部内升压的工序；然后，在使上述过滤器部的二次侧成为比上述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下，从上述过滤器部的一次侧使处理液通过上述过滤器部的工序；和将通过了上述过滤器部的处理液经由喷嘴供给至被处理体来进行液处理的工序。由此，能够快速除去气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 供给 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种过滤器润湿方法，其特征在于，包括：从处理液供给源向新的过滤器部内供给处理液，并使处理液充满在该过滤器部内的工序；接着，为了从所述过滤器部除去气泡，在将连接所述处理液供给源与所述过滤器部的流路封闭以使所述处理液不从所述处理液供给源流入到该过滤器部的状态下，利用用于对过滤器部内进行减压的减压部，使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的工序；之后，使所述过滤器部内从所述第一压力气氛升压以使得该过滤器部内成为目标压力气氛的工序；和然后，在使所述过滤器部的下游侧成为比所述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下，使处理液从所述过滤器部的上游侧通过所述过滤器部的工序。
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