[发明专利]处理液供给方法和处理液供给装置

权利要求书

1.一种过滤器润湿方法，其特征在于，包括：

从处理液供给源向新的过滤器部内供给处理液，并使处理液充满在该过滤器部内的工序；

接着，为了从所述过滤器部除去气泡，在将连接所述处理液供给源与所述过滤器部的流路封闭以使所述处理液不从所述处理液供给源流入到该过滤器部的状态下，利用用于对过滤器部内进行减压的减压部，使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的工序；

之后，使所述过滤器部内从所述第一压力气氛升压以使得该过滤器部内成为目标压力气氛的工序；和

然后，在使所述过滤器部的下游侧成为比所述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下，使处理液从所述过滤器部的上游侧通过所述过滤器部的工序。

2.如权利要求1所述的过滤器润湿方法，其特征在于：

所述第一压力气氛的压力为-51kPa～-80kPa。

3.如权利要求1或2所述的过滤器润湿方法，其特征在于：

使所述过滤器部内升压为所述目标压力气氛的工序是使过滤器部内成为大气压气氛的工序。

4.一种过滤器润湿装置，其用于从所述过滤器部除去气泡，包括相互连接的处理液供给源和过滤器部，该过滤器润湿装置的特征在于，包括：

分别在所述过滤器部的上游侧、下游侧和排放口设置的上游侧阀、下游侧阀和排放阀；

用于对所述过滤器部内进行减压的减压部；和

控制所述上游侧阀、下游侧阀和排放阀以及所述减压部的控制部，

所述控制部具有实施以下步骤的程序：

从所述上游侧供给处理液而使过滤器部内充满处理液的步骤；

通过使所述上游侧阀、下游侧阀和排放阀之中至少所述上游侧阀为关闭状态、使其他的阀为打开状态，而将连接所述处理液供给源与所述过滤器部的流路封闭以使所述处理液不从所述处理液供给源流入到该过滤器部内，在这样的状态下，利用所述减压部使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的步骤；

之后，使成为关闭状态的至少所述上游侧阀打开，使所述过滤器部内从所述第一压力气氛升压，以使得该过滤器部内成为目标压力气氛的步骤；和

然后，在使所述过滤器部的下游侧成为比所述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下，使处理液从所述过滤器部的上游侧通过所述过滤器部的步骤。

5.如权利要求4所述的过滤器润湿装置，其特征在于：

所述第一压力气氛的压力为-51kPa～-80kPa。

6.如权利要求4或5所述的过滤器润湿装置，其特征在于：

使所述过滤器部内升压为目标压力气氛的步骤是使过滤器部内成为大气压气氛的工序。

7.一种液处理方法，其特征在于，包括：

从处理液供给源向过滤器部内供给处理液，使处理液充满在该过滤器部内的工序；

接着，为了从所述过滤器部除去气泡，在将连接所述处理液供给源与所述过滤器部的流路封闭以使所述处理液不从所述处理液供给源流入到该过滤器部的状态下，利用用于对过滤器部内进行减压的减压部，使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的工序；

从所述过滤器部的排放口排出所述处理液的工序；和

然后，将通过了所述过滤器部的处理液供给到被处理体的处理液的供给工序。

8.如权利要求7所述的液处理方法，其特征在于：

包括在所述过滤器部内的减压时从所述过滤器部的下游侧排出所述处理液的工序。

9.如权利要求7或8所述的液处理方法，其特征在于：

包括在形成所述第一压力气氛之后，使所述过滤器部内从所述第一压力气氛升压以使得该过滤器部内成为目标压力气氛的升压工序。

10.如权利要求9所述的液处理方法，其特征在于：

在所述升压工序之后，具有在使所述过滤器部的下游侧成为比所述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下使处理液从所述过滤器部的上游侧通过所述过滤器部的工序。