[发明专利]一种使用液态金属制备柔性电子线路的方法与装置有效
| 申请号： | 201611141411.8 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN106498348B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李润伟;郑春蕾;刘宜伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/35;C23C14/02;H05K3/14 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种使用液态金属制备柔性电子线路的方法与装置。采用热蒸发技术或者溅射技术，将液态金属作为蒸发源或者溅射源，热蒸发或者轰击溅射出液态金属粒子沉积在柔性衬底表面，形成液态金属薄膜。该方法简单易行，有利于柔性电子线路的小尺寸化。另外，本发明提供的制备装置结构简单，能够实现对液态金属靶材进行热蒸发与溅射两种方式，因此使用灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 液态 金属 制备 柔性 电子线路 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种使用液态金属制备柔性电子线路的方法，其特征是：首先在柔性衬底表面施加静电荷，然后采用热蒸发技术，将液态金属作为蒸发源，热蒸发出液态金属粒子沉积在柔性衬底表面，形成液态金属薄膜；或者，首先在柔性衬底表面施加静电荷，然后采用溅射技术，将块体状的液态金属作为靶材，惰性气体在电压作用下电离后轰击该靶材，将靶材的原子或原子团溅射到柔性衬底，形成液态金属薄膜。
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