[发明专利]一种高精度OLED器件的制备装置及制备方法在审
| 申请号： | 201611137869.6 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN106435483A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 叶芸;郭太良;严群;张永爱;吕珊红;徐中炜 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司35100 | 代理人： | 蔡学俊;丘鸿超 |
| 地址： | 350002 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度OLED器件的制备装置及制备方法。包括蒸发源阵列、基板、传动装置以及配合蒸发源阵列的掩膜板；所述蒸发源阵列由若干个蒸发源排列而成，蒸发源中的材料垂直向上蒸发至基板上，通过传动装置带动基板或蒸发源阵列的移动，完成基板的蒸镀，进而形成OLED器件。本发明加大了基板与掩膜板的距离，减小掩膜板对蒸镀的影响；减小蒸发源与基板的距离，使得蒸发材料更少地扩散在蒸发环境里，节约了蒸发材料；另外，还减小蒸发源间距，减小掩膜板孔隙间距，实现点对点的蒸发，增加单位面积内子像素的个数，实现了高精度OLED器件的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 oled 器件 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种高精度OLED器件的制备装置，其特征在于：包括蒸发源阵列、基板、传动装置，蒸发源阵列由若干个蒸发源排列而成，蒸发源中的材料受热形成分子流垂直向上蒸发至基板，通过传动装置带动基板或蒸发源阵列的移动，完成基板的蒸镀，进而形成OLED器件。
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