[发明专利]一种砷化镓晶片打印激光标识的方法有效
| 申请号： | 201611122330.3 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106425105B | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 曹志颖;刘津 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;H01L23/544 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种砷化镓晶片打印激光标识的方法，步骤如下激光的参数为，激光波长范围300～870nm，激光强度3W～5W，标识次数为3～5次，选定激光参数后进行激光标识，标识深度为100～200um。激光的种类可为紫光或红光。激光标识结束后对晶片表面进行清洁处理，去除标识周围因打标带来的毛刺和颗粒，以保证晶片有较好的几何参数和表面质量，然后再进行磨片及后续工序的处理。有益效果是通过多次实验，最终确定出一套适合砷化镓表面标识的激光参数，既能保证晶片有较好的几何参数和表面质量，又能方便识别和后续追溯。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 晶片 打印 激光 标识 方法 | ||
【主权项】：
一种砷化镓晶片打印激光标识的方法，对采用LEC法、VB法或VGF法生长的砷化镓单晶，断掉单晶的头尾，经滚圆制作主次参考面，用线切割机切割成一定厚度晶片，并对晶片表面进行化学腐蚀，然后经过倒角和再次化学腐蚀后，对晶片进行激光标识；先将晶片按照从头到尾的顺序进行排列，选定激光的参数在晶片表面进行激光标识，具体标识尺寸参照《砷化镓圆形晶片字母数字刻码规范》进行设定，其特征在于：所述选定激光的参数为，激光波长355nm，激光强度3W，标识次数为3次，选定激光参数后进行激光标识，标识深度为140～155µm，激光的种类为紫光；激光标识结束后对晶片表面进行清洁处理，去除标识周围因打标带来的毛刺和颗粒，以保证晶片有较好的几何参数和表面质量，然后再进行磨片及后续工序的处理。
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