[发明专利]一种主动吸振器及微动台有效

专利信息
申请号: 201611082098.5 申请日: 2016-11-30
公开(公告)号: CN108121166B 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 陈超;廖飞红 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种主动吸振器及微动台,该吸振器设于被减振对象的侧边上,包括外壳框架、设于所述外壳框架内的质量块、设于所述外壳框架与所述质量块之间的弹性形变单元和主动激励单元、设置在所述质量块上的加速度传感器,所述加速度传感器用于测量所述质量块的加速度,以及控制器,所述控制器根据所述质量块的加速度控制所述主动激励单元的出力。通过在外壳框架与质量块之间设置弹性形变单元和主动激励单元,并在质量块上设置用于测量加速度的加速度传感器,与控制器之间形成加速度反馈控制回路,现了主动吸振控制功能,有效抑制了垂向和水平向的2个模态振型。
搜索关键词: 质量块 外壳框架 加速度传感器 主动激励 控制器 吸振器 弹性形变 测量 加速度反馈 加速度控制 控制功能 控制回路 模态振型 台本发明 有效抑制 水平向 微动台 垂向 减振 微动 吸振 出力
【主权项】:
1.一种主动吸振器,其特征在于,设于被减振对象的侧边上,包括外壳框架、设于所述外壳框架内的质量块、设于所述外壳框架与所述质量块之间的弹性形变单元和主动激励单元、设置在所述质量块上的加速度传感器,所述加速度传感器用于测量所述质量块的加速度,以及控制器,所述控制器根据所述质量块的加速度控制所述主动激励单元的出力,所述控制器与所述主动激励单元之间依次设有带通滤波器和陷波滤波器,使用所述主动吸振器吸振时,被减振的对象产生振动激励,所述加速度传感器产生信号并将所述信号传递到控制器,所述控制器将处理后的信息传递到所述带通滤波器,所述带通滤波器滤掉过高或过低的信息,所述陷波滤波器抑制固定频率的信息,将剩余信息反馈给主动激励单元,所述主动激励单元提供相应的阻尼力,将质量块的能量进行衰减,从而对所述被减振的对象进行吸振。/n
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