[发明专利]粗动台防转装置和粗动台组件有效
| 申请号： | 201611076306.0 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108121165B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种粗动台防转装置和粗动台组件，该粗动台防转装置包括线缆台防撞臂、防撞臂磁钢阵列和粗动磁铁，其中，所述线缆台防撞臂对称设置于粗动台两侧，所述防撞臂磁钢阵列铺设在所述线缆台防撞臂上，所述粗动磁铁安装在所述粗动台的两侧且磁性与所述防撞臂磁钢阵列相同。本发明通过设置对称布置的2组线缆台防撞臂，增强了防转刚度，可将粗动台的各自由度限制在安全范围内；本发明通过在线缆台防撞臂上设置防撞臂磁钢阵列，并在粗动台侧边设置同极的粗动磁铁，可以对粗动台进行重力补偿，改善了线缆台侧粗动平面电机的出力情况，减少了电机发热量，提高了控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 防撞 线缆 磁钢阵列 防转装置 动磁铁 台组件 发热量 自由度限制 对称布置 对称设置 平面电机 重力补偿 侧边 防转 台侧 同极 出力 电机 铺设 安全 | ||
【主权项】：
1.一种粗动台防转装置，其特征在于，包括：线缆台防撞臂、防撞臂磁钢阵列和粗动磁铁，其中，所述线缆台防撞臂对称设置于粗动台两侧，所述防撞臂磁钢阵列铺设在所述线缆台防撞臂上，所述粗动磁铁安装在所述粗动台的两侧且磁性与所述防撞臂磁钢阵列相同，所述线缆台防撞臂成单边开口结构，所述防撞臂磁钢阵列与所述粗动磁铁对应设置。/n
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