[发明专利]一种基于主动聚焦的实时聚焦方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于主动聚焦的实时聚焦方法及装置，通过主动聚焦方式，实现实时聚焦。曝光前利用测距仪测量一个条带曝光基本面至镜头的数据，在曝光时进行运用；曝光过程中，测距仪会测量下一条带曝光基层高度的数据，在接下来的曝光中进行运用。通过这样测量一组数据，替代曝光下一条带进行运用的方式，实现了主动实时聚焦。比纯软件聚焦更快，更精细。

主权项

1.一种基于主动聚焦的实时聚焦方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，扫描步进曝光机按照条带进行曝光，条带是一个长方形曝光区域，一次扫描曝光一个条带，一个条带接着一个条带的顺序曝光，所有条带构成整个曝光区域；步骤2，曝光首条带前测距仪通过主动聚焦的方式扫描该条带，在曝光中由于基板出现的凹凸不平的情况，因此记录该条带的坐标为(X0，Y0)……(Xn、Yn)，然后得到不同坐标位置所对应的Z轴高度值F；步骤3，曝光首条带时通过三轴定位平台Stage当前的坐标位置(X0，Y0)，以及步骤2中测量的该坐标位置所对应的Z轴高度值F，得到三轴定位平台Stage在曝光位置的焦面值F0，移动三轴定位平台Stage的Z轴到F0位置，即实现此位置的聚焦；所述步骤2中的主动聚焦按照以下步骤实施：步骤2.1，设置三轴定位平台Stage中的X轴扫描方式为up‑to‑down，根据基板的厚度，计算Z轴至曝光镜头的理论高度值f；步骤2.2，移动平台至曝光首条带位置，启动测距仪的测量功能，测量即将在扫描过程中的Z轴变化值Fn；步骤2.3，X方向为步进，Y方向扫描，根据步骤2.1中的理论高度值f确定Z轴移动总步长Step，记录存储在Fn中；步骤2.4，在曝光时根据步骤2.3中的Fn，由镜头结构的Z轴电机进行一次实时聚焦；步骤2.5，继续曝光后面的条带，再通过测距仪测量不同Step已存储的数据Fn，再次进行运用；步骤2.6，重复步骤2.2‑2.5，即实现整个曝光过程中的主动聚焦。