[发明专利]显示装置的制造方法和成膜装置

摘要

本发明提供设置于显示装置的电极的制造方法以及含有该电极的显示装置的制造方法。或者提供具有应用该制造方法的电极的显示元件和显示装置。本发明的显示装置的制造方法包括下述工序：在基板上形成第一电极；在第一电极上形成有机层；通过使包括具有透光性的导电性氧化物的靶发生溅射而在有机层上形成第二电极，在形成第二电极时，在有机层与靶之间设置掩模，掩模具有周期性排列的最大宽度为0.1μm以上3μm以下的贯通孔。

主权项

一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括下述步骤：在基板上形成第一电极的步骤；在所述第一电极上形成具有发光层的有机层的步骤；和通过使包括具有透光性的导电性氧化物的靶发生溅射，在所述有机层上形成第二电极的步骤，在形成所述第二电极时，在所述有机层与所述靶之间设置掩模，所述掩模具有周期性排列的最大宽度为0.1μm以上3μm以下的多个贯通孔。