[发明专利]电沉积装置及其电沉积方法

摘要

本发明提供一种电沉积装置及其电沉积法方法，电沉积装置包括阴极、阳极和电沉积槽，电沉积装置还包括离子交换膜，离子交换膜的下端及两侧分别与电沉积槽的底壁及侧壁对应密封连接将电沉积槽分为阴极溶液槽和阳极溶液槽，阴极溶液槽内设有阴极电沉积液，阳极溶液槽内设有阳极电沉积液，阴极位于阴极电沉积液中，阳极位于阳极电沉积液。本发明在阴极溶液和阳极溶液之间设置离子交换膜，这样阴极部分溶液中的表面活性剂不会被阳极电化学反应消耗，使阴极溶液中的表面活性剂的浓度不会下降；阳极部分溶液中的表面活性剂被电化学氧化所产生的产物不会进入阴极部分溶液，不会污染电沉积产品造成元素太阳能电池组件效率逐渐下降。

主权项

一种电沉积装置，包括阴极（4）、阳极（2）和电沉积槽（1），其特征在于，所述电沉积装置还包括离子交换膜（3），所述离子交换膜（3）的下端及两侧分别与电沉积槽（1）的底壁及侧壁对应密封连接，将电沉积槽（1）分为阴极溶液槽（5）和阳极溶液槽（6），所述阴极溶液槽（5）内设有阴极电沉积液，所述阳极溶液槽（6）内设有阳极电沉积液，所述阴极（4）位于所述阴极电沉积液中，所述阳极（2）位于所述阳极电沉积液中。