[发明专利]一种二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201611033386.1 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN106521441B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 蒲吉斌;王立平;李浩;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种位于基体表面的二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜，自基体表面起，依次包括Ti过渡层、Ti与二硫化钼的梯度过渡层、二硫化钼和铅钛合金交替叠加形成的交替多层，以及二硫化钼表层。该薄膜具有良好的膜基结合强度与硬度，在空间真空环境下具有长寿命、良好的耐湿热氧化和抗原子氧性能，能够满足空间真空特殊环境下服役的装备(例如空间站太阳翼伸展机构等)的高可靠和长寿命服役需求，具有很好的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二硫化钼 钛合金 纳米 多层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜，其位于基体表面，其特征是：自基体表面起，依次包括Ti过渡层、Ti与二硫化钼的梯度过渡层、二硫化钼和铅钛合金交替叠加形成的交替多层，以及二硫化钼表层；所述的Ti过渡层厚度为100～250nm；所述的Ti与二硫化钼的梯度过渡层厚度为50～100nm；所述的交替多层总厚度为1.5～2μm；所述的二硫化钼表层厚度为100～200nm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611033386.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
