[发明专利]场效应电催化产氢器件的制备方法有效
| 申请号： | 201611022130.0 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN106555207B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 麦立强;潘雪雷;晏梦雨;王俊辉 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C25B11/06 | 分类号： | C25B11/06;C25B11/02;C25B1/04;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 崔友明 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种场效应电催化产氢器件的制备方法，将至少一层二硒化钒纳米薄片分散到带有氧化层的硅基板上，其中纳米薄片作为沟道材料，氧化层作为介电层，在沟道材料的两端制作金属微电极；旋涂一层绝缘层，并在两金属微电极之间刻蚀出矩形窗口；在硅基板空白一侧除去氧化层，制作背栅电极的接触点，在器件表面注入电解液获得场效应电催化产氢器件。本发明的有益效果是：可以作为优化纳米材料电催化性能的新策略。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应 电催化 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.场效应电催化产氢器件的制备方法，其特征在于包括有以下步骤：将至少一层二硒化钒纳米薄片分散到带有氧化层的硅基板上，其中纳米薄片作为沟道材料，氧化层作为介电层，在沟道材料的两端制作金属微电极；旋涂一层绝缘层，并在两金属微电极之间刻蚀出矩形窗口；刻蚀出的矩形窗口平行于金属微电极，使沟道材料暴露而金属微电极全部被绝缘层覆盖，在硅基板空白一侧除去氧化层，制作背栅电极的接触点，在器件表面注入电解液获得场效应电催化产氢器件。
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