[发明专利]鳍式场效晶体管器件

摘要

揭露鳍式场效晶体管器件及其形成方法。鳍式场效晶体管器件包括衬底、多个栅极以及绝缘墙。衬底具有在第一方向上延伸的多个鳍。多个栅极在与第一方向不同的第二方向上延伸，且分别横跨多个鳍。相邻栅极中的两者以端对端的方式配置。在第一方向上延伸的绝缘墙位于相邻栅极的面对端部之间，且与相邻栅极中的每一者的栅介电材料实体接触。

主权项

一种鳍式场效晶体管器件，其特征在于包括：衬底，具有在第一方向上延伸的至少一第一鳍以及至少一第二鳍；第一栅极，在与所述第一方向不同的第二方向上延伸，且横跨所述至少一第一鳍，第二栅极，在所述第二方向上延伸，且横跨所述至少一第二鳍，其中所述第一栅极的端部与第二栅极的端部彼此面对；以及绝缘墙，在所述第一方向上延伸，位于所述第一栅极的端部与所述第二栅极的端部之间，且与所述第一栅极以及所述第二栅极中的每一者的栅介电材料实体接触。