[发明专利]用于显示设备的薄膜晶体管在审
| 申请号： | 201610985215.2 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN106935654A | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 赵成民;具奭勋 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/16 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 康泉,宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所描述的技术大体上涉及用于显示设备的薄膜晶体管。示例性实施例提供了用于显示设备的薄膜晶体管，包括基板；半导体，被布置在基板上，并且包括沟道以及布置在沟道的相对侧的源区和漏区；栅绝缘层，包括布置在基板和半导体上的第一栅绝缘层以及布置在第一栅绝缘层上并与沟道重叠的第二栅绝缘层；布置在第二栅绝缘层上的栅电极；直接布置在第一栅绝缘层和栅电极上的层间绝缘层；以及布置在层间绝缘层上并连接到半导体的源电极和漏电极，其中栅绝缘层的与栅电极重叠的部分的厚度可大于栅绝缘层的与源区重叠的部分的厚度以及栅绝缘层的与漏区重叠的部分的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显示 设备 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种用于显示设备的薄膜晶体管，包括：基板；半导体，被布置在所述基板上，并且包括沟道以及布置在所述沟道的相对侧的源区和漏区；栅绝缘层，包括布置在所述基板和所述半导体上的第一栅绝缘层以及布置在所述第一栅绝缘层上并与所述沟道重叠的第二栅绝缘层；布置在所述第二栅绝缘层上的栅电极；直接布置在所述第一栅绝缘层和所述栅电极上的层间绝缘层；以及布置在所述层间绝缘层上并连接到所述半导体的源电极和漏电极，其中，所述栅绝缘层的与所述栅电极重叠的部分的厚度大于所述栅绝缘层的与所述源区重叠的部分的厚度以及所述栅绝缘层的与所述漏区重叠的部分的厚度。
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