[发明专利]一种炉管的氮气冷却系统及晶圆和晶舟的冷却方法

摘要

本发明公开了一种炉管的氮气冷却系统及晶圆和晶舟的冷却方法，通过在氮气冷却系统中设置两路冷却管路，每路冷却管路分别采用质量流量控制器控制氮气流量，并通过在两路冷却管路中设置不同的氮气流量，使从冷却晶舟的第一冷却管每个出气孔中喷射出的氮气流量小于从冷却晶圆的第二冷却管每个出气孔中喷射出的氮气流量，以在晶舟舟脚部位产生的颗粒被第一冷却管喷射出的较小流量氮气吹落时，通过第二冷却管喷射出的较大流量氮气吹走，从而既能够很好地冷却晶舟及晶舟上的晶圆，又可防止将晶舟舟脚上的颗粒吹到晶圆上。

主权项

1.一种炉管的氮气冷却系统，设置在炉管下方的预装载区，并位于下降到预装载区时的晶舟侧部，所述晶舟通过舟脚水平装载有若干层晶圆，其特征在于，所述氮气冷却系统包括：第一、第二冷却管路，其分别设有质量流量控制器；第一、第二冷却管，分别垂直设于第一、第二冷却管路末端，沿第一、第二冷却管的管壁分别设有多个出气孔，用于喷射氮气分别从侧部对晶舟及晶舟中的晶圆进行冷却；第一、第二冷却管路连接机械臂，出气孔处加装活动喷嘴；其中，由供气系统导入的氮气，经第一、第二冷却管路各自质量流量控制器的调节，以不同的设定流量流向第一、第二冷却管，使从第一冷却管每个出气孔喷射出的氮气流量小于从第二冷却管每个出气孔喷射出的氮气流量，以在晶舟舟脚部位产生的颗粒被第一冷却管喷射出的较小流量氮气吹落时，通过第二冷却管喷射出的较大流量氮气吹走，从而防止颗粒落到晶圆上。