[发明专利]一种显示器面板及制造方法

摘要

一种显示器面板及制造方法，包含：薄膜晶体管、中间绝缘层和像素电极。所述显示器面板结构包括：衬底和设置在所述衬底上由金属氧化物构成的有源层，所述有源层与栅极叠层相毗邻；所述有源层部分区域上覆盖有电极；所述电极与所述有源层之间还包括绝缘层。所述薄膜晶体管的所述电极与所述像素电极相电连接；所述像素电极与所述电极之间还设置有所述中间绝缘层；所述有源层在所述中间绝缘层覆盖下的区域分别形成源区、漏区，在非所述中间绝缘层覆盖下的区域形成沟道区。本发明的薄膜晶体管兼具小尺寸、高性能、高可靠性、低成本等优点，符合目前显示器面板的发展趋势。

主权项

一种显示器面板，包括多组显示模块，其特征在于，所述显示模块包含：薄膜晶体管、中间绝缘层和像素电极，所述显示器面板结构包括：衬底和设置在所述衬底上由金属氧化物构成的有源层，所述有源层与栅极叠层相毗邻；所述有源层部分区域上覆盖有电极；所述电极与所述有源层之间还包括绝缘层；所述电极上连接有所述像素电极；所述像素电极与所述电极之间还设置有所述中间绝缘层；所述绝缘层在所述中间绝缘层覆盖下的部分为第一绝缘层，且所述第一绝缘层的厚度大于含氧元素的物质在所述第一绝缘层中的扩散长度；所述绝缘层在非所述中间绝缘层覆盖下的部分为第二绝缘层，且所述第二绝缘层的厚度小于所述含氧元素的物质在所述第二绝缘层中的扩散长度；所述有源层在所述中间绝缘层覆盖下的区域分别形成源区、漏区，在非所述中间绝缘层覆盖下的区域形成沟道区；所述源区、漏区与所述沟道区相互连接，且分别位于所述沟道区的两端；所述源区、所述漏区和所述沟道区的连接面自对准于所述中间绝缘层在所述有源层投影面积之内的边界的铅垂面；所述源区、所述漏区的电阻率小于所述沟道区的电阻率。