[发明专利]热酸产生剂以及光致抗蚀剂图案修整组合物和方法有效
| 申请号： | 201610917113.7 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106631923B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | I·考尔;刘骢;K·罗威尔;G·波勒尔斯;李明琦 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C07C309/58 | 分类号： | C07C309/58;C07D213/61;C07D239/26;C07D239/74;C07C211/63;C07C323/20;C07C321/30;C07C25/18;C07D213/20;C07C309/60;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供离子性热酸产生剂，其包含：包含一个或多个氟化醇基团的芳香族磺酸的阴离子和阳离子。此外提供包括离子性热酸产生剂、基质聚合物和溶剂的光致抗蚀剂图案修整组合物，以及使用所述修整组合物修整光致抗蚀剂图案的方法。所述热酸产生剂、组合物和方法尤其适用于制造半导体装置。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 以及 光致抗蚀剂 图案 修整 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种离子性热酸产生剂，其包含：包含一个或多个氟化醇基团的芳香族磺酸的阴离子；和阳离子。
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