[发明专利]声波滤波器和制造该声波滤波器的方法在审
| 申请号： | 201610916340.8 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107094004A | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 郑原圭 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 金光军,包国菊 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种声波滤波器和制造该声波滤波器的方法，所述声波滤波器包括基板，在所述基板中形成有多个孔；第一谐振器，设置在所述多个孔中的一个或更多个孔上；第二谐振器，设置在所述多个孔中的其它孔上。第一修整层设置在第一谐振器中，第二修整层设置在第二谐振器中。第二修整层由针对指定的蚀刻剂具有与第一修整层的蚀刻速率不同的蚀刻速率的材料形成。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种声波滤波器，包括：基板，在所述基板中形成有多个孔；第一谐振器，设置在所述多个孔中的一个或更多个孔上；第二谐振器，设置在所述多个孔中的其它孔上，其中，第一修整层设置在第一谐振器中，第二修整层设置在第二谐振器中，第二修整层包含针对指定的蚀刻剂与第一修整层的蚀刻速率不同的蚀刻速率的材料。
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