[发明专利]一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法有效
| 申请号： | 201610902337.0 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106404794B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 邵建达;刘世杰;董敬涛;吴周令;陈坚;王圣浩;倪开灶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/47 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法，包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、偏振分光棱镜、1/4波片、第二高反镜、旋转棱镜、振镜、远心场镜、被测样品、散射光探测器、反射光探测器和行触发探测器。测量系统通过散射光探测器收集材料表面的散射信号，结合棱镜和振镜的复合旋转运动实现了激光光束在大口径样品表面的高速扫描，从而完成了大口径材料表面散射的测量，与传统大口径材料表面散射的测量技术相比，本发明专利提出的测量装置和方法可以实现大口径样品表面散射的高速测量，从而大大降低了大口径材料表面散射测量所需要的时间，同时测量系统具有较高的结构紧凑性和较低的构建成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 材料 表面 散射 高速 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大口径材料表面散射的高速测量装置，其特征在于，包括激光器(1)、激光扩束系统(2)、第一高反射镜(3)、起偏器(4)、偏振分光棱镜(5)、1/4波片(6)、第二高反射镜(7)、旋转棱镜(8)、振镜(9)、远心场镜(10)、散射光探测器(12)、反射光探测器(13)和行触发探测器(14)；所述的激光器(1)发射的激光光束经所述的激光扩束系统(2)准直扩束后，通过所述的第一高反射镜(3)入射到起偏器(4)产生S偏振光束，该S偏振光束通过偏振分光棱镜(5)的反射后入射到1/4波片(6)中产生圆偏振光，该圆偏振光通过第二高反射镜(7)后入射到旋转棱镜(8)上，旋转棱镜(8)将入射激光束沿水平方向在一定角度范围内连续扫描，同时反射到振镜(9)上，该振镜(9)将入射激光束沿垂直方向在一定角度范围内连续扫描，同时反射到远心场镜(10)上，该远心场镜(10)将入射激光束垂直聚焦到被测样品(11)的表面上，所述的散射光探测器(12)收集被测样品(11)表面的散射光，所述的反射光探测器(13)收集被测样品(11)表面的反射光，通过旋转棱镜(8)扫描的激光束有一部分入射到行触发探测器(14)上产生行触发信号，行触发探测器(14)，用于大口径元件测量过程中精确控制旋转棱镜(8)和振镜(9)的运动，各部件均通过计算机实现远程控制。
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