[发明专利]一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法有效
申请号: | 201610902337.0 | 申请日: | 2016-10-17 |
公开(公告)号: | CN106404794B | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 邵建达;刘世杰;董敬涛;吴周令;陈坚;王圣浩;倪开灶 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所;合肥知常光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/47 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯;张宁展 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 口径 材料 表面 散射 高速 测量 装置 方法 | ||
【说明书】:
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