[发明专利]多光谱光源耦合装置在审
| 申请号： | 201610877653.7 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107885042A | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 马鹏川 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多光谱光源耦合装置，包括至少两个光源，耦合石英棒、透射反射组件以及耦合输出石英棒，每个所述耦合石英棒的入射端设有一个所述光源，每个所述耦合石英棒的出射端设有一个透射反射组件，每个所述透射反射组件的两个入射端分别设有入射有不同光源的耦合石英棒或耦合输出石英棒，每个所述耦合输出石英棒设于一个所述透射反射组件的出射端，所述透射反射组件将两个入射端传递而来的能量透射和/或反射后传递至处于其出射端的所述耦合输出石英棒。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 光源 耦合 装置 | ||
【主权项】：
一种多光谱光源耦合装置，其特征在于：包括至少两个光源，耦合石英棒、透射反射组件以及耦合输出石英棒，每个所述耦合石英棒的入射端设有一个所述光源，每个所述耦合石英棒的出射端设有一个透射反射组件，每个所述透射反射组件的两个入射端分别设有入射有不同光源的耦合石英棒或耦合输出石英棒，每个所述耦合输出石英棒设于一个所述透射反射组件的出射端，所述透射反射组件将两个入射端传递而来的能量透射和/或反射后传递至处于其出射端的所述耦合输出石英棒。
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