[发明专利]一种基于MXT9030的薄膜厚度测量系统在审
| 申请号： | 201610873171.4 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106352784A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王健;丁喜波;李博宸;蔡庆瑶 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)23209 | 代理人： | 李晓敏 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于MXT9030的薄膜厚度测量系统，涉及一种薄膜厚度测量系统。本发明包括电容传感器、MXT9030电容‑电压转换器电路、PIC单片机、LED显示单元和工作指示灯；电容传感器与MXT9030电容‑电压转换器电路、PIC单片机依次连接，PIC单片机的输出端连接有LED显示单元和工作指示灯。本发明利用电容传感器精度高、能量损耗小、无接触磨损的特点，制作了符合薄膜厚度测量要求的传感器探头，MXT9030实现对电容传感器的信号检测，通过PIC单片机的控制，调节MXT9030电路的内部参数，使薄膜测量系统具有良好的线性度及灵敏度。本发明满足大范围内的电容差分信号输入，并具有良好的检测灵敏度和线性度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mxt9030 薄膜 厚度 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种基于MXT9030的薄膜厚度测量系统，其特征在于：包括电容传感器、MXT9030电容‑电压转换器电路、PIC单片机、LED显示单元和工作指示灯；所述电容传感器与MXT9030电容‑电压转换器电路、PIC单片机依次连接，PIC单片机的输出端连接有LED显示单元和工作指示灯。
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